产品特点:
1、采用独立的电脑控制机械臂自动化作业;
2、各槽配置独立抛动系统,增加硅片和溶剂的摩擦。
3、各槽配置鼓泡管路,均采用PFA材质管件制作。
4、酸槽配置冷却盘管,降低酸溶剂蒸发量;设置脊型缸盖,杜绝酸蒸汽释放到空气中,缸盖上设有喷淋系统。
5、设备槽体均采用PVDF 6mm板材制作,耐酸碱性强。
6、采用第三代[敏感词]技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落。
7、[敏感词]全自动补液技术,做到集中供酸和排放。配置接水盘,防止槽体漏液污染车间环境。
8、彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换
本产品支持非标定制,可提供设计图纸与清洗方案
蓝鲸半导体用机械臂式全自动超声波清洗机,半导体超声波清洗机作业流程:装有产品的洗篮放置自动入料台上,由PLC 控制进料系统定位再通过提升机构、平移机构的配合龙门机械手依次送入各工序段,对工件进行各工序段的清洗、漂洗、脱水、干燥完成后,通过传动,自动将洗篮送出,人工卸下洗篮,即完成整个清洗过程。整机清洗部分为全封闭结构,装有可拆卸的观察检修门。设备配电设施为独立的电控柜放置进料口位置。经多年的设计制造经验证明,结构合理,并配有超纯水设备作为清洗水源是理想高洁净度清洗专用设备。
半导体产业是现代电子工业的核心,而半导体产业的基础是硅材料工业。虽然有各种各样新型的半导体材料不断出现,但 90%以上的半导体器件和电路,尤其是超大规模集成电路(ULSI)都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片和外延片上的。
1、确定型号
通过咨询,确定型号,也可通过网站了解规格参数,确定型号,我司可根据客户要求专门定制型号,欢迎来厂实地考察
2、询价
电话、在线客户、留言、电子邮件等方式登记信息由销售经理回复价格和交货期
3、签订合同
产品细节,付款方式等
4、付款
按照合同条款付款,款到后及时发货
5、验收
收到机台时,请检查外包装与货物是否损坏,核对产品型号和数量,以及配件,如发生上述情况,请拍照及时与销售人员联系
6、售后服务
1.提供上门安装调试,技术人员免费指导培训;
2.接到维修电话后,省内12小时内到达,省外48小时内到达关排除故障;
3.质保18个月,承诺终身维护,让客户售后无忧。
咨询电话:400-873-8568
为您按需求定制个性化超声波清洁方案,全程360°服务