本文使用高频超声波的半导体单片清洗中的微粒子去除进行了研究。水中的超声波在波导管内传播时,根据波导管的内径形成平面波以外的波导管模式,此时,通过LDV测量确认了波导管弯曲振动,成为具有行波分布的传播体。 另外,实验表明,如果在形成清洗液膜的晶片基板上接近配置波导管,利用透过波导管的超声波可以得到均匀的微粒子去除。 在具……
超声波清洗机的核心配置是超声波振动器,即超声波转换器。高质量的超声波清洗机振动器可以大大提高超声波清洗机的稳定性,降低功耗。超声波转换器由外壳、匹配层、压电陶瓷盘转换器、背衬、电缆和阵列接收器组成。压电陶瓷盘转换器由厚度方向极化的PZT-5压电材料制成。阵列接收器由8~16个转换器、两个金属环和橡胶垫圈组成。 ……
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