超声波清洗主要采用超声波空化作用，其空化作用受工艺参数和清洗液的物理性质的影响。为保证超声波清洗效果，必须选择合适的清洗液，并明确超声波清洗机的清洗工艺参数。与超声波清洗效果相关的物理量包括功率密度、超声波频率、清洗剂类型、清洗温度等。
[敏感词]，工作频率和功率。
超声波清洗的主要参数是功率，或者更准确地说，应该是指清洗件表面的功率和密度。它直接影响超声波强度的大小。声强直接影响空化效果。因此，在选择超声波清洗功率时应特别注意。超声波清洗效果不一定与功率清洗时间完全成正比。当功率增加时，空化强度将大大提高，清洗效果也将提高。但是，当强度过大时，清洗件表面容易产生空化腐蚀，清洗缸底部的振动板也严重空化，水点腐蚀也增加，缩短了超声波清洗机的使用寿命。因此，应根据实际使用情况选择超声波功率，以获得有效的清洗。功率一般为0.1kW~10kW，强度为0.1~1.0w/cm2。在相同强度下，超声波频率越低，清洗液中的空化效果越好。这是因为当工作频率较低时，清洗液压缩稀疏时间隙较长，气泡可达到较大体积。当空化气泡体积较大时，空化强度增加，有利于清洁，因此使用较低的工作频率可以获得较高的清洁能力。但是，当工作频率过低时，会导致噪声增加，污染环境。一般选择在15kHz~30kHz之间，对于一些特殊的清洁部件或特殊的清洁要求，可以适当地提高频率，如表面有小间隙、深孔等形状，可以适当地提高频率。当然，对于半导体制造过程中的硅片清洗，可以选择兆赫级超声波清洗设备。
第二，清洗液温度。
当天气寒冷时，清洗液的温度随温度而降低，直接影响空化效应，导致清洗效果不理想。因此，大多数清洗机应以不同的方式加热清洗液，并控制清洗液的温度。如果清洗液的温度升高，则有利于空化效应的发生。当温度继续升高时，气泡中气体的蒸汽压也会随着温度的升高而升高，导致冲击声压和空化强度的降低，这将削弱空化效果。因此，每种清洗液都应选择合适的温度，即空化活性温度，以达到[敏感词]的清洗效果。如果水基清洗液的空气活性温度为60℃，则更适合使用60℃的水作为清洗液。
第三，选择清洗液。
放射性滤芯的清洗通常采用酸、碱等作为清洗剂，其成本相对可控，效果明显。根据滤芯的材料和工艺环境，表面附着的放射性物质成分也有所不同。选择合适的清洁剂是保证清洁效率的主要因素之一。
目前，常用的超声波清洗液包括金属清洗液、碱性清洗液、混合烃有机溶剂、卤代烃有机溶剂等。其中，卤代烃有机溶剂对油的溶解效果更高，振荡程度更高，更适合超声波清洗领域。
第四，超声波清洗时间。
超声波清洗也直接影响清洗效果和质量，时间短，不能满足清洗要求。如果清洗时间过长，会影响清洗效率，甚至会对工件表面造成空化腐蚀。一般来说，对于一些表面烧结材料较严重的工件，可以适当增加清洗时间。对于表面光滑、烧结材料较轻的工件，需要控制清洗时间。
超声波空化的强度与声学的技术参数、清洗液的物理化学性质和环境条件有关。因此，为了获得良好的清洗效果，必须选择合适的超声波清洗工艺参数和清洗液。
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