超声波清洗技术早出现于20世纪30年代初，由美国新泽西州的美国无线电公司的技术人员提出。国外超声波清洗设备种类繁多，超声波清洗设备应用广泛，各种超声波清洗设备不断创新。高频超声波清洗技术在国外超声波清洗设备中占有很大比例，用于清洗小芯片，可清除0.15mm的污染物。我国超声波清洗技术研究较早，超声波清洗技术发展迅速，应用广泛，清洗技术综合利用方法多样化：一是从单缸机到多缸机或自动超声波清洗生产线；二是从低频超声波清洗机到高频超声波清洗机。
1）聚焦清洗：局部区域可发生高强度超声波，工作频率为15、20、28kHz。聚焦清洗可以弥补超声能量不足造成的普通超声清洗不彻底清洗。
2）超声波振动清洗：超声波通过变幅杆和振动头传输到需要清洗的物体。后，由于高速振动物体表面污染物脱落，达到清洗效果。这种新方法与普通超声波清洗方法的区别在于不需要清洗液。
3）多频清洗：物体由多频换能器同时发生不同频率的超声波清洗。不同的超声波频率对物体有不同的清洗效果。低频超声清洗物体表面的污染物，高频超声清洗内部的小污染物，高频低频清洗物体。
4）扫描频率和跳跃频率清洗：两者都改善了超声波清洗容器中超声波场的结构。扫描频率可以改善清波场，使物体清洗得很好。跳频和多频可根据实际情况选择高频和低频。不同之处在于，跳频是一种有两种频率的换能器，根据需要选择频率。
5）多槽自动联合清洗：是多槽联合智能控制，降低劳动强度，提高综合效率的智能设备。它可以根据不同的情况、不同的频率、功率等超声波，以[敏感词]的成本达到[敏感词]的清洗效果。
6）兆赫超声波清洗：这种高频清洗方法的清洗原理是利用声能产生的液体流动来清洗污件，而不是传统的使用超声波空化效应来实现清洗目的。兆赫超声波清洗不会因空化效应而产生强大的清洗力。因此，其优点是体积小、易损坏的集成芯片可以很好地清洗和保护设备，广泛应用于电子元件清洗领域。
与其他清洗技术相比，超声波清洗技术有许多优点。由于自动化程度低，传统的超声波清洗机难以保证设备清洗的均匀性。近年来，自动化程度高、灵活性强的超声波清洗机逐渐出现。该清洗设备将超声波清洗与化学清洗、漂洗、脱水、干燥等工艺相结合，采用PLC控制传动、干燥、清洗，不仅实现了超声波清洗的自动控制和批量操作，优化了清洗工艺，提高了清洗质量，而且具有很高的清洗效率。
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